| タイトル |
同軸構造導電性AFMプローブ |
| 概要 |
導電性AFMを用いたナノスケールでの高感度電圧電流計測において問題となる寄生容量とノイズの低減を目的とした同軸構造のシールド付き導電性AFMプローブ。 |
| コメント |
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| 支援機関 |
筑波大学
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| 技術分野・応用分野 |
ナノエレクトロニクス、マテリアルサイエンス |
| プロセス分類 |
リソグラフィ・露光・描画装置、成膜・膜堆積、膜加工・エッチング |
| 材料 |
SiO2、イリジウム（Ir）、シリコン（Si）、チタン（Ti）、白金（Pt）、金（Au）
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利用課題番号
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