| タイトル |
8角形格子 |
| 概要 |
マスクレス露光装置でパターン形成したピッチ4μｍの格子
シリコンのプラズマエッチング後、酸化して酸化膜エッチングすることで表面を平滑化している。 |
| コメント |
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| 支援機関 |
豊田工業大学
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| 技術分野・応用分野 |
エネルギー関連技術、バイオ&ライフサイエンス、フォトニクス、環境技術 |
| プロセス分類 |
シミュレーションCAD、リソグラフィ・露光・描画装置、形状・形態観察、成膜・膜堆積、熱処理、膜加工・エッチング |
| 材料 |
クロム（Cr）、シリコン（Si）、金（Au）
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利用課題番号
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