利用事例・加工事例

タイトル カーボンナノチューブの林
概要 カーボン用プラズマ成膜装置でAFM探針に成長
AFM探針の先鋭化
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支援機関 豊田工業大学
技術分野・応用分野 N&MEMS、ナノエレクトロニクス、マテリアルサイエンス、化学&分子テクノロジー
プロセス分類 合成、形状・形態観察
材料 カーボンナノチューブ、シリコン（Si）
利用課題番号
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