利用事例・加工事例

タイトル 微細構造による機能制御
概要 Si基板上にピラー構造を作製し、その上の液滴の蒸発挙動などを研究
Si基板へマスクアライナー、深掘エッチング装置により高アスペクト比加工（5μmφ×30μm）、ピラー構造を作製（Fig.1)。ピラーを敷き詰めたシリコン基板上の液滴の状況（接触角：130°）（Fig.2)
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支援機関 山口大学
技術分野・応用分野 モデリング&シミュレーション
プロセス分類 膜加工・エッチング
材料 シリコン（Si）
利用課題番号
※利用報告書の閲覧はこちら		 F-13-YA-0019

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